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光伏电池
核心部件
最大基板尺寸：610mm×630mm (24"× 24.8")
解析：4μm/4μm
对位精度：±2μm
产能：80面/hr@610mm×630mm
晶圆尺寸：12inch Wafer
解析：2μm L/S
焦深：±7.5μm
套刻精度：0.25μm
产能：15WPH@12inch
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