产品中心
印刷线路
泛半导体
丝网印刷
光伏电池
核心部件
最大基板:630×730mm
解析L/S:6/6μm
对准:±3.5µm
产能:1.4片/分钟@90mj
解析L/S:8/8μm
对准:±5µm
产能:3面/分钟@90mj
(单次曝光长1200mm,
可多次拼接曝光)
幅宽:250/520mm
解析L/S:25/25μm
对准:±10µm
产能:5米/分钟@50mj
解析L/S:12/12μm
对准:±6µm
产能:1.3米/分钟@50mj