产品优势
精密镜头与高性能台面系统集成产品，优秀的解析和对指标准
产品优势
大理石龙门，稳定光学镜头组件，使机器拥有，高精度和良好的稳定性
产品优势
上下交互双台面设计，优化动作流畅产能高
产品优势
精密镜头与高性能台面系统集成产品，优秀的解析和对指标准
产品优势
大理石龙门，稳定光学镜头组件，使机器拥有，高精度和良好的稳定性
产品优势
上下交互双台面设计，优化动作流畅产能高
| 产品特色 | HDI 50/50 |
| 最大基板尺寸 | 630mm×730mm（有效曝光尺寸623mm×730mm) |
| 最小基板尺寸 | 250mm×250mm（单机），300mm×300mm（自动线） |
| 基板厚度 | 0.05mm~5mm（单机），0.075mm~3.5mm（自动线） |
| 工艺解析L/S | 25µm/25µm |
| 线宽精度 | ±10% |
| 景深 | ±200µm |
| 层间对位精准度 | 20µm |
| 外层对位准精度 | ±10µm |
| 曝光时间(623mm×460mm&四点对位，不含上下板） | 8.5秒/面＠30mj/cm² |
| 生产效率(623mm×460mm&四点对位） | 7面／分钟＠30mj/cm² |
| 光源功率 | 12W |
| 单机台面数量 | 上下交互双台面 |
| 内层线路模组 | 内外层通用 |
| 单机设备重量 | 5000kg |
| 单机外形尺寸 | 3280mm×1700mm×2225mm |
| 自动线外形尺寸 | 6380mm×3460mm×2455mm（不含收放板机） |
| 工作高度（输送高度） | 1030±20mm |
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