产品优势
支持L/S＝1.4μm/1.4μm量产工艺
产品优势
支持650×550mm的全面板量产
产品优势
分割对齐和全局对齐方式，也可以对应芯片第一工序
产品优势
通过每个镜头都配备了倾斜机构来提高成品率
产品优势
支持L/S＝1.4μm/1.4μm量产工艺
产品优势
支持650×550mm的全面板量产
产品优势
分割对齐和全局对齐方式，也可以对应芯片第一工序
产品优势
通过每个镜头都配备了倾斜机构来提高成品率
| 缩放比例 | ×1 |
| 曝光区域 | 70mm×70mm |
| 分辨率L/S | 1.4μm/1.4μm |
| 波长 | i-line |
| 光源 | LED 365nm |
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