产品优势
MLB大拼版线路先行者
成熟大板DI经验助
力大板板材利用率提升
降本增效
产品优势
MLB大拼版线路先行者
成熟大板DI经验助
力大板板材利用率提升
降本增效
产品优势
横竖两种布局供选择
灵活搭配生产车间
大小板兼容自动化
产品优势
大拼板解析提升至25µm
满足高密产品需求
产品特色 | 大板高解析 |
最大基板尺寸 | 1260mm×730mm(有效曝光尺寸1245mm×724mm) |
最小基板尺寸 | 400mm×400mm(单机),500mm×710mm(自动线) |
基板厚度 | 0.1mm~5mm(单机),0.2mm~4.0mm(自动线) |
工艺解析(L/S) | 25μm/25μm |
线宽精度 | ±10% |
景深 | ±300μm |
层间对位精准度 | 30μm |
外层对位准精度 | ±15μm |
曝光时间(50mj&四点对位,不含上下板) | 8.3秒/面@1245mm×723mm (49"×28.5") |
生产效率(50mj&四点对位) | 6片/分钟@ 1245mm×723mm (49"×28.5") |
光源功率 | 24W(可选48W) |
单机台面数量 | 单台面 |
内层线路模组 | 内外层通用 |
单机设备重量 | 5500kg |
单机外形尺寸 | 3658mm×1700mm×2050mm |
自动线外形尺寸 | 6600mm×3800mm×2050mm(不含收、放板机) |
工作高度(输送高度) | 950±20mm |