DPS-25V

产品优势

MLB大拼版线路先行者
成熟大板DI经验助
力大板板材利用率提升
降本增效

产品优势

横竖两种布局供选择
灵活搭配生产车间
大小板兼容自动化

产品优势

大拼板解析提升至25µm
满足高密产品需求

设备参数
产品特色 大板高解析
最大基板尺寸 1260mm×730mm(有效曝光尺寸1245mm×724mm)
最小基板尺寸 400mm×400mm(单机),500mm×710mm(自动线)
基板厚度 0.1mm~5mm(单机),0.2mm~4.0mm(自动线)
工艺解析(L/S) 25μm/25μm
线宽精度 ±10%
景深 ±300μm
层间对位精准度 30μm
外层对位准精度 ±15μm
曝光时间(50mj&四点对位,不含上下板) 8.3秒/面@1245mm×723mm (49"×28.5")
生产效率(50mj&四点对位) 6片/分钟@ 1245mm×723mm (49"×28.5")
光源功率 24W(可选48W)
单机台面数量 单台面
内层线路模组 内外层通用
单机设备重量 5500kg
单机外形尺寸 3658mm×1700mm×2050mm
自动线外形尺寸 6600mm×3800mm×2050mm(不含收、放板机)
工作高度(输送高度) 950±20mm
设备参数

产品特色

大板高解析

最大基板尺寸

1260mm×730mm(有效曝光尺寸1245mm×724mm)

最小基板尺寸

400mm×400mm(单机),500mm×710mm(自动线)

基板厚度

0.1mm~5mm(单机),0.2mm~4.0mm(自动线)

工艺解析(L/S)

25μm/25μm

线宽精度

±10%

景深

±300μm

层间对位精准度

30μm

外层对位准精度

±15μm

曝光时间(50mj&四点对位,不含上下板)

8.3秒/面@1245mm×723mm(49"x28.5")

生产效率(50mj&四点对位)

6片/分钟@1245mm×723mm(49"x28.5")

光源功率

24W(可选48W)

单机台面数量

单台面

内层线路模组

内外层通用

单机设备重量

5500kg

单机外形尺寸

3658mm×1700mm×2050mm

自动线外形尺寸

6600mm×3800mm×2050mm(不含收、放板机)

工作高度(输送高度)

950±20mm