产品优势
支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光,如:158/166/182/210整片及半片
产品优势
支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光,如:158/166/182/210整片及半片
产品优势
采用激光直写的方式
产品优势
兼容手动、自动线上下料
可升级配置提商产能
产品优势
支持有Mark对位及寻边对位
产品特色 | 单机全自动,分割曝光,产能高 |
最大基板尺寸 | 220mm×220mm |
兼容基板尺寸 | 156mm×156mm(含半片) |
基板厚度 | 0-1mm |
量产解析(L/S) | 8µm/8µm |
线宽精度 | ±10% |
景深 | ±50µm |
对位精准度 | 寻边对位±40µm,Mark点对位±8µm |
生产效率 | 500pcs/h&70mj/cm²(210mm×105mm) |