DSS-08

产品优势

支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光,如:158/166/182/210整片及半片

产品优势

采用激光直写的方式

产品优势

兼容手动、自动线上下料
可升级配置提商产能

产品优势

支持有Mark对位及寻边对位

设备参数
产品特色 单机全自动,分割曝光,产能高
最大基板尺寸 220mm×220mm
兼容基板尺寸 156mm×156mm(含半片)
基板厚度 0-1mm
量产解析(L/S) 8µm/8µm
线宽精度 ±10%
景深 ±50µm
对位精准度 寻边对位±40µm,Mark点对位±8µm
生产效率 500pcs/h&70mj/cm²(210mm×105mm)
设备参数

产品特色

单机全自动,分割曝光,产能高

最大基板尺寸

220mm×220mm

最小基板尺寸

156mm×156mm(含半片)

基板厚度

0mm~1mm

量产解析(L/S)

8μm/8μm

线宽精度

±10%

景深

±50μm

对位精准度

寻边对位±40μm,Mark点对位±8μm

生产效率

500pcs/h &70mj/cm2(210×105mm)