DPS-60T

产品优势

采用多波段混合光源,更接近汞灯光谱,满足载板专用油墨固化的苛刻要求

产品优势

开窗精度60µm和50μm两款产品,提供两种精度要求场景的应用

产品优势

高产能适合量产环境

设备参数
产品特色 产能优先
最大基板尺寸 623mm×730mm
最小基板尺寸 250mm×250mm(单机),400mm×400mm(自动线)
基板厚度 0.1mm~3mm
工艺解析(桥/开窗) 40μm/60μm
线宽均匀性 ±10%
景深 ±100μm
DMD拼接 ≤3μm
外层对位准精度 ±6μm
能量均匀性 ≥95%
Undercut 油墨厚度25μm时,undercut值小于10μm
油墨颜色 绿/黑
曝光时间(623mm×515mm&四点对位,不含上下板) 20秒/面@500mj/cm²
生产效率(623mm×515mm&四点对位) 2.5面/分钟@500mj/cm²
单机台面数量 单台面
单机设备重量 5500kg
单机外形尺寸 2940mm×1700mm×2195mm
自动线外形尺寸 6380mm×3082mm×2455mm(不含收放板机)
工作高度(输送高度) 890±20mm
设备参数

产品特色

产能优先

最大基板尺寸

623mm×730mm

最小基板尺寸

250mm×250mm(单机),400mm×400mm(自动线)

基板厚度

0.1mm~3mm

工艺解析(桥/开窗)

40μm/60μm

线宽均匀性

±10%

景深

±100μm

DMD拼接

≤3μm

外层对位准精度

±6μm

能量均匀性

≥95%

Undercut

油墨厚度25μm时,undercut值小于10μm

油墨颜色

绿/黑

曝光时间(623mm×515mm&四点对位,不含上下板)

20秒/面@500mj/cm2

生产效率(623mm×515mm&四点对位)

2.5面/分钟@500mj/cm2

单机台面数量

单台面

单机设备重量

5500kg

单机外形尺寸

2940mm×1700mm×2195mm

自动线外形尺寸

6380mm×3082mm×2455mm(不含收放板机)

工作高度(输送高度)

890±20mm